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2025-09-16 11:35:51 文章来源：发布人：陈莉

图书简介：
本文件描述了用轮廓仪法、千分尺法和游标卡尺法测试半导体晶片直径的方法。本文件适用于圆形半导体晶片直径的测试，测试范围为标称直径不大于300 mm。本文件不适用于测试晶片的不圆度。

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